מהי צלחת ליטוש ופלים קרמיים מאלומינה טוהר גבוה?

עם ההתפתחות המהירה של תעשיית המוליכים למחצה, היקף התעשייה גדל במהירות, וציוד ייצור מוליכים למחצה המשיך להתפתח לדיוק ומורכבות. מכיוון שלקרמיקה יש יתרונות של קשיות גבוהה, מודול אלסטיות גבוה, עמידות גבוהה בפני שחיקה, בידוד גבוה, עמידות בפני קורוזיה, התפשטות נמוכה וכו', ניתן להשתמש בה כחלקים של מכונות ליטוש סיליקון, ציוד לטיפול בחום אפיטקסיאלי/חמצון/דיפוזיה, מכונות ליתוגרפיה, ציוד שיקוע, ציוד איכול מוליכים למחצה, מכונות השתלת יונים וציוד אחר, כך שהמחקר, הפיתוח והייצור של חלקים קרמיים מדויקים משפיעים ישירות על התפתחות תעשיית המוליכים למחצה. הדרישות הטכניות להכנתם הולכות וגדלות.

אלומינה בעלת טוהר גבוה, 99.7%-99.9% אלומינה.
חוזק מכני גבוה, עמידות גבוהה בפני שחיקה, בידוד חשמלי גבוה, יציבות כימית גבוהה, עמידות טובה בחום ועמידות טובה בפני קורוזיה. כיום, השימוש בדיסקיות קרמיות לטחינת פרוסות סיליקון מוליכים למחצה הוא שיטת ההשחזה המעולה והמתקדמת ביותר. תהליך השחזה דו-צדדי משמש לטחינת פרוסות סיליקון חתוכים, ואיכות פרוסות השחזה משתפרת על ידי שיפור תהליך ההשחזה (חומר הדיסק, נוזל השחזה, לחץ השחזה ומהירות השחזה וכו'). בפרט, השימוש בלוחות קרמיים במקום בלוחות ברזל יצוק, כדי למנוע שחיקה של המשטח הראשי של הפרוסה הנגרמת על ידי צלקות או זיהום, להפחית את הכנסת יוני המתכת, יכול להפחית את עיבוד הסיליקון לאחר מכן, לקצר את זמן התהליך (קורוזיה) לאחר מכן, לשפר את יעילות הייצור ולהפחית את אובדן עיבוד הסיליקון, ולשפר מאוד את ניצול הסיליקון.

צלחת ליטוש פרוסות אלומינה גבוההמשמש בתעשיות מוליכים למחצה, נפט, כימיה, פוטו-וולטאית, גביש נוזלי ותעשיות אחרות, כגון חלקים מכניים, חלקים אלקטרוניים, דיסק אינדוקציה במיקרוגל, חומרי בידוד וחלקים אחרים, התקני מוליכים למחצה, ציוד ואקום, ציוד לייצור גביש נוזלי וחלקים אחרים. לקרמיקה אלומינה בגודל גדול ובעלת טוהר גבוה יש ערך יישום חשוב בתעשיית הספיר ובתעשיית שבבי המוליכים למחצה. זהו תמיכה וצריכה מרכזית לליטוש כימי-מכני (CMP) של פרוסות סיליקון של ספיר ומוליכים למחצה. קרמיקה אלומינה בגודל גדול ובעלת טוהר גבוה יכולה לשמש גם כמצע אלומינה עבור LCD.