צ'משוןצלחת ליטוש פרוסות אלומינהשולחן הפלטפורמה עשוי מאלומינה בטוהר גבוה של 99.7-99.9%. קרמיקת אלומינה בטוהר גבוה מתאפיינת בקשיחות יוצאת דופן ועמידות מעולה בפני שחיקה לליטוש פרוסות ושומרת על צורת פני השטח טובה לאורך זמן. היא מעוצבת על ידי PIBM. היא חברה בתעשיית המוליכים למחצה בזכות יציבותה התרמית והממדית שאין שני לה ועמידותה בסביבות קשות של ציוד עיבוד שבבים.
פלנריזציה כימית-מכנית (CMP), הידועה גם כליטוש כימי-מכני, היא טכנולוגיה בתהליך הייצור של התקני מוליכים למחצה. היא משתמשת בקורוזיה כימית ובכוחות מכניים כדי להחליק פרוסות סיליקון או חומרי מצע אחרים במהלך העיבוד.
ציוד CMP מחולק בעיקר לשני חלקים: חלק הליטוש וחלק הניקוי. חלק הליטוש מורכב מ-4 חלקים, כלומר 3 שולחנות ליטוש מסתובבים ומודול טעינה ופריקה של פרוסות. חלק הניקוי אחראי על ניקוי וייבוש הפרוסה כדי להשיג "ייבוש פנימה והתייבשות החוצה" של הפרוסה. בכל ציוד הליטוש, קרמיקת אלומינה ממלאת תפקיד חשוב.
קרמיקה מאלומינה משמשת בדרך כלל להכנת דיסקיות ליטוש ופלים, הדורשות טוהר גבוה, עמידות כימית גבוהה ושליטה טובה על צורת פני השטח וחספוסם.
דיסק השחזה הקרמי Chemshun 99.7% Al2O3 עשוי מחומרים קרמיים מתקדמים, המתאימים לטחינה עדינה של חומרים שונים, במיוחד לטחינה של חומרים שבירים כגון ופלים, קרמיקה וזכוכית. ניתן לייצר את דיסק השחזה הקרמי שלנו בגדלים שונים בהתאם לדגמי השחזה וליטוש שונים.
זמן פרסום: 30 במאי 2025